中国科学院微电子研究所：纳米森林柔性湿度传感器及其创新应用研究方面取得新进展
2024年04月18日
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近日，微电子所健康电子中心黄成军研究员和毛海央研究员团队在纳米森林柔性湿度传感器方向取得新进展。
现有湿度传感器在低湿条件下存在灵敏度低的问题，难以满足高精度检测要求。团队开发了一种基于碳量子点@纳米森林复合结构的新型湿敏材料，利用纳米森林的高孔隙率和超亲水特点，及其与柔性基底可兼容制备和晶圆级制备特点，成功研发出一种新型的高性能柔性湿度传感器和传感器阵列。同基于PI湿敏材料或基于纳米森林湿敏材料的柔性湿度传感器相比，该新型传感器显著提升了湿度检测灵敏度，尤其在低湿条件下，其灵敏度提高了4.3倍。
团队还探索了该新型柔性湿度传感器和传感器阵列在高精度环境湿度监测、皮肤湿度检测、指尖接近探测、植物叶片蒸腾作用检测等多种场景下的应用，展现了其广阔的应用潜力，为智能可穿戴设备和环境监测等技术领域的发展提供了一种新的技术方案。
来源：传感器专家网
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