产品名称
MEMS变电容型
变容式MEMS加速度传感器

型号

813-200

系列

813

特点/应用

• 静态响应                                                                

• 汽车路面测试


• 2 to 200g 量程                                                      

• 高速列车


• 惯性运动、低频和倾角                                           

• 磁悬浮动态位移


• 5K g 抗冲击                                                         

• 悬挂系统监控


• 温度补偿                                                               

• 飞行测试

                                                                               

• 静态加速度

                                                                               

• 传送测试

产品简介

813-200变容式MEMS加速度传感器是一款用来测量静态加速度和低频振动的高灵敏 度变容式加速度传感器,其特点是采用变容式MEMS硅晶片为敏 感元件,该敏感元件由一个很小的惯性质量块和一个挠性元件 组成,该挠性元件位于两块极板之间。随着质量块在加速度作 用下发生偏转,这些极板之间的电容也会发生变化;包含了交 流激励和同步调制解调电路的加速度传感器内部信号调节器输 出与应用加速度成正比的模拟输出信号,单端信号输出值为 2.5±2V, 由单端稳压电源提供5.5~30Vdc的供电。敏感元件和电 路组件一起封装在小型轻巧,线缆一体输出的氧化铝外壳中, 信号地与测试对象绝缘隔离。813-200变容式MEMS加速度传感器的安装可以通过 粘合剂安装也可以用M3的公制螺丝安装。此产品广泛应用于需 要精确测量的研发领域,同时产品封装也适合在严苛的环境中 使用。


产品规格
加速度量程(g) 200
速度量程(in/s) 0
灵敏度 ( ±10%) 10
频响范围(Hz) 0 - 1000
重量 (克) 6
冲击极限 5000
温度范围(°C) -40 to 85
输出形式 放大电压
轴数 单轴
安装方式 粘接/螺丝
温度信号
传感类型 MEMS变电容型
灵敏度单位 mV/g
供电方式 5.5 - 30 VDC
配置电缆 N/A